attocube Systems AG

80331 München

Patents

AKTIVER BIMODALER AFM-BETRIEB ZUR MESSUNGEN OPTISCHER INTERAKTION

EP3722817

deponida ils 12-04-2019

GEKÜHLTER TISCH

EP3224556

deponida ils 23-11-2015

OPTISCHER TISCH

EP3209954

deponida ils 22-10-2015

HAFT-GLEIT-ANTRIEB, INSBESONDERE PIEZO-AKTUIERTER TRÄGHEITSANTRIEB

EP3205011

deponida ils 08-10-2015

INTERFEROMETRISCHER WEGSENSOR ZUR INTEGRATION IN WERKZEUGMASCHINEN UND HALBLEITER-LITHOGRAFIESYSTEMEN

EP3137847

deponida ils 29-04-2015

Elektromechanischer Aktuator

EP3035519

deponida ils 19-12-2014

Doppellaserinterferometer

EP2806246

deponida ils 24-05-2013

Vorrichtung zur Positionserfassung mit konfokalem Fabry-Perot Interferometer

EP2363685

deponida ils 09-02-2010

Vorrichtung zur Positionserfassung

EP2045572

deponida ils 04-10-2007

ELEKTROMECHANISCHER AKTUATOR

EP3410596

Ulteriuras marcas (5)

POSITIONIERER MIT FESTKÖRPERGELENK

EP1894258

INERTIAL-ROTATIONSELEMENT

EP1336205

Aufnahmevorrichtung für Proben

EP0969484

Trägheitspositionierer

EP0823738

Rastersondenmikroskop mit gekoppelter Oszillatoranordnung

CH686906

Possessur da 15 patents, 9 en vigur.

Da Swissreg, il register da l’Institut federal da la proprietad intellectuala: patents svizzers e patents europeics cun effect en Svizra. In patent figurescha qua, sch’il num da ses possessur è il num da questa unitad giuridica.