Versum Materials US, LLC
Tempe, AZ
Patents
CHEMISCH-MECHANISCHE ZUSAMMENSETZUNG ZUM PLANARISIEREN ENTHALTEND IMIDAZOLIUMBASIERTE POLY(IONISCHE FLÜSSIGKEIT) UND VERWENDUNG DAVON
EP4341315
VERFAHREN ZUR THERMISCHEN ABSCHEIDUNG VON SILIZIUMHALTIGEN FILMEN
EP3963122
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUM- UND STICKSTOFFHALTIGEN SCHICHTEN
EP3844318
CHEMISCH-MECHANISCHE PLANARISIERUNGSZUSAMMENSETZUNG ZUM POLIEREN VON OXIDMATERIALIEN UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DAVON
EP3608378
AUFSCHLEUDERMETALLISIERUNG
EP3776631
FUNKTIONALISIERTE CYCLOSILAZANE ALS VORLÄUFER FÜR SILICIUMHALTIGE FILME MIT HOHER WACHSTUMSRATE
EP3630785
ULTRASCHALL-FLÜSSIGKEITSSTANDMESSSYSTEM
EP4151959
HAFTSTOFFE UND BINDER FÜR ELEKTROOPTISCHER ANZEIGEN
EP2385958
MEHRZONEN-ERHITZUNGSGEHÄUSE ZUR OPTIMIERTEN SUBLIMATION VON FESTPHASENVORLÄUFERN
EP4359585
VERSORGUNGSSTEUERSYSTEM FÜR EINE VIELZAHL VON BEHÄLTERN
EP4196717
Ulteriuras marcas (40)
REINIGUNG NACH EINER CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG (CMP)
EP4204529
KOAXIALER VENTILBLOCK MIT BEGRENZTEM VOLUMEN
EP4094002
VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINES FILMS
EP4065746
ENTGASER, ENTGASUNGSSYSTEME UND VERFAHREN ZU DEREN VERWENDUNG
EP3924085
CHEMISCHER UND MECHANISCHER POLIERSCHLAMM ZUR ISOLIERUNG VON FLACHEN GRÄBEN
EP3702424
CHEMISCH-MECHANISCHES PLANARISIERUNGS(CMP)-POLIEREN DURCH FLACHE GRABENISOLATION MIT ABSTIMMBAREN SILIZIUMOXID- UND SILIZIUMNITRIDABTRAGSRATEN
EP3689988
GRABENISOLATIONS (STI)-POLIEREN MIT CHEMISCH-MECHANISCHEM PLANARISIEREN MIT NIEDRIGER SCHLEIFMITTELKONZENTRATION UND EINER KOMBINATION VON CHEMISCHEN ADDITIVEN
EP3686257
SYSTEM UND VERFAHREN ZUM TROCKNEN UND ANALYTISCHEN TESTEN VON BEHÄLTERN
EP3686533
ÄTZLÖSUNG MIT SILICIUMOXIDKORROSIONSHEMMER UND VERWENDUNGSVERFAHREN DAFÜR
EP3666852
UNTERDRÜCKUNG DER SIN-ENTFERNUNGSRATEN UND REDUZIERUNG DES OXID-TRENCH-DISHING FÜR PROZESS DER FLACHGRABENISOLATION (STI)
EP3647384
VERBESSERUNG DER BESEITIGUNGSRATE VON BARRIERESCHLAMM
EP3628714
HOCHOXID- VS NITRIDSELEKTIVITÄT, TRENCH-DISHING MIT NIEDRIGEM UND GLEICHMÄSSIGEM OXIDGEHALT BEIM CHEMISCH-MECHANISCHEN POLIEREN UND PLANARISIEREN MIT FLACHGRABENISOLATION (STI)
EP3628713
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUM- UND STICKSTOFFHALTIGEN SCHICHTEN
EP3620549
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUMHALTIGEN SCHICHTEN MIT HOHEM KOHLENSTOFFGEHALT
EP3620550
STABILE ALKENYL ODER ALKINYL ENTHALTENDE ORGANOSILICIUMVORLÄUFERZUSAMMENSETZUNGEN
EP3841104
OXIDPOLIERZUSAMMENSETZUNG ZUR CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG
EP3608379
CHEMISCH-MECHANISCHE PLANARISIERUNG (CMP) VON WOLFRAM MIT GERINGER MULDENBILDUNG UND TOPOGRAFIE MIT NIEDRIGER EROSION
EP3604468
ZUSAMMENSETZUNG ZUR TITAN-NITRID-HARTMASKENENTFERNUNG UND REINIGUNG VON ÄTZRESTEN
EP3599634
ZUSAMMENSETZUNGEN ZUM REINIGEN VON RÜCKSTÄNDEN NACH DEM ÄTZEN UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DAVON
EP3599633
CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN VON WOLFRAM FÜR REDUZIERTE OXIDEROSION
EP3597711
CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN FÜR NIEDRIGES OXID-TRENCH-DISHING
EP3587525
REINIGUNG NACH DER CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG (CMP)
EP3588535
BIS(DIAZADIEN)KOBALT-VERBINDUNGEN, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DAVON
EP3584250
FOTOLACKABZIEHZUSAMMENSETZUNG UND -VERFAHREN
EP3573091
PHOTOLACKENTFERNER
EP3553811
ORGANOAMINOFUNKTIONALISIERTE CYCLISCHE OLIGOSILOXANE ZUR ABSCHEIDUNG VON SILICIUMHALTIGEN FOLIEN
EP3553204
VERWENDUNG EINER ÄTZLÖSUNG FÜR WOLFRAM-WORTLEITUNGSAUSSPARUNG
EP3540764
PHOTOLACKENTFERNER
EP3537474
ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/GERMANIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS
EP3537473
PHOTOLACKENTFERNER
EP3502225
SILACYCLISCHE VERBINDUNGEN UND VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON SILICIUMHALTIGEN FILMEN UNTER VERWENDUNG DAVON
EP3476971
KOMPOSITPARTIKEL, VERFAHREN ZUR VERFEINERUNG UND VERWENDUNG DAVON
EP3476910
ABLÖSERLÖSUNGEN UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG VON ABLÖSERLÖSUNGEN
EP3688132
ZUSAMMENSETZUNGEN UND VERFAHREN ZUR VERHINDERUNG DES KOLLABIERENS VON STRUKTUREN MIT HOHEM ASPEKTVERHÄLTNIS WÄHREND DER TROCKNUNG
EP3688131
ÄTZLÖSUNG ZUR GLEICHZEITIGEN ENTFERNUNG VON SILICIUM UND SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS
EP3684887
VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON SILIKONHALTIGEN SCHICHTEN
EP3682041
ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG VON SILICIUM AUS EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS
EP3447109
ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS
EP3447791
ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG VON TANTALNITRID ÜBER TITANNITRID BEI DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS
EP3447792
ZUSAMMENSETZUNG ZUM CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIEREN (CMP) UND VERFAHREN DAFÜR FÜR KUPFER- UND SILICIUMDIOXIDDURCHKONTAKTIERUNGSANWENDUNGEN
EP3444309
Possessur da 165 patents, 8 en vigur.
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