KLA Corporation

Milpitas, California

Patents

BILDMODELLIERUNGSUNTERSTÜTZTE KONTUREXTRAKTION

EP4426995

deponida ils 02-06-2023
UNTERDRÜCKUNG VON LASERGLÜHMUSTERN

EP4337943

deponida ils 12-10-2022
BANDBREITENEINSTELLUNG ZUR FERNSTEUERUNG EINES HERSTELLUNGSWERKZEUGS

EP4327541

deponida ils 28-09-2022
DEFEKTERKENNUNG FÜR MEHRCHIPMASKEN

EP4327082

deponida ils 22-09-2022
SYSTEM UND VERFAHREN ZUR MESSUNG EINES HALBLEITERPROFILS AUF BASIS EINES ABTASTBEDINGUNGSMODELLS

EP4327081

deponida ils 15-09-2022
SYSTEME UND VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG MEHRERER ELEKTRONENSTRAHLEN

EP4327350

deponida ils 15-09-2022
KALTFELDEMITTERELEKTRONENKANONE MIT SELBSTREINIGENDEM EXTRAKTOR MIT UMGEKEHRTEM ELEKTRONENSTRAHLSTROM

EP4324010

deponida ils 05-07-2022
DETEKTIONSUNTERSTÜTZTE ZWEISTUFIGE PHASENABWICKLUNG AUF MUSTERSCHEIBENGEOMETRIEMESSUNG

EP4323719

deponida ils 02-06-2022
SYSTEM UND VERFAHREN ZUR Z-PAT-FEHLERGEFÜHRTEN STATISTISCHEN AUSREISSERERKENNUNG VON HALBLEITERZUVERLÄSSIGKEITSFEHLERN

EP4323783

deponida ils 02-06-2022
SYSTEM UND VERFAHREN ZUR INTERFEROMETRIE MIT LATERALEM SCHEREN IN EINEM INSPEKTIONSWERKZEUG

EP4285113

deponida ils 21-04-2022
Ulteriuras marcas (37)
DOPPELVAKUUMDICHTUNG

EP4281691

deponida ils 07-02-2022
RÜCKBELEUCHTETER SENSOR MIT MITTELS PLASMAATOMSCHICHTABSCHEIDUNG ABGESCHIEDENER BORSCHICHT

EP4278384

deponida ils 02-02-2022
VERFAHREN UND SYSTEME FÜR KOMPAKTE WEICHE RÖNTGENSTREUOMETRIE MIT KLEINER PUNKTGRÖSSE

EP4248194

deponida ils 08-12-2021
SYSTEM UND VERFAHREN ZUR INSPEKTION UND MESSTECHNIK VON VIER SEITEN VON HALBLEITERBAUELEMENTEN

EP4211714

deponida ils 01-11-2021
ERKENNUNG VON NICHTÜBERWACHTEN STRUKTURSYNONYMEN MITTELS BILD-HASHING

EP4200897

deponida ils 08-09-2021
VERFAHREN UND SYSTEME ZUR BESTIMMUNG DER QUALITÄT VON HALBLEITERMESSUNGEN

EP4200598

deponida ils 01-09-2021
KÜHLMITTELMIKROLECKSENSOR FÜR EIN VAKUUMSYSTEM

EP4182655

deponida ils 25-08-2021
KANTENPROFILINSPEKTION FÜR DELAMINATIONSDEFEKTE

EP4285316

deponida ils 13-08-2021
GRAUMODUS-ABTASTSTREUMESSUNGS-ÜBERLAGERUNGSMETROLOGIE

EP4154064

deponida ils 02-08-2021
AUF TIEFENLERNEN BASIERENDE FEHLERERKENNUNG

EP4222695

deponida ils 27-07-2021
INSPEKTION VON VERRAUSCHTEN GEMUSTERTEN MERKMALEN

EP4222483

deponida ils 21-07-2021
KORRELATION VON BILDDESIGN ZU WAFER DURCH KOMBINATION VON INFORMATIONEN AUS MEHREREN SAMMELKANÄLEN

EP4150573

deponida ils 09-06-2021
BILDGEBUNGSSYSTEM FÜR VERGRABENE METROLOGIEZIELE

EP4115142

deponida ils 24-05-2021
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM DREHEN EINES OPTISCHEN OBJEKTIVS

EP4115229

deponida ils 10-05-2021
WEICHE RÖNTGENOPTIK MIT VERBESSERTER FILTERUNG

EP4111472

deponida ils 23-03-2021
BESTIMMUNG METROLOGIEARTIGER INFORMATIONEN FÜR EINE PROBE UNTER VERWENDUNG EINES PRÜFWERKZEUGS

EP4122007

deponida ils 09-03-2021
VERBUNDWERKSTOFF-OVERLAY-METROLOGIEZIEL

EP4078159

deponida ils 26-01-2021
PROBENPOSITIONIERUNGSSYSTEM UND -VERFAHREN

EP4200804

deponida ils 22-10-2020
KOMBINIERTE BILDGEBUNG VON ÜBERTRAGENEM UND REFLEKTIERTEM LICHT INTERNER RISSE BEI HALBLEITERBAUELEMENTEN

EP3987567

deponida ils 20-07-2020
STRONTIUMTETRABORAT ALS OPTISCHES BESCHICHTUNGSMATERIAL

EP3938766

deponida ils 06-05-2020
BELEUCHTUNGSQUELLE MIT HOHER HELLIGKEIT FÜR OPTISCHE METROLOGIE

EP3938745

deponida ils 16-04-2020
SYSTEME UND VERFAHREN ZUR HOCHAUFLÖSENDEN ÜBERPRÜFUNG ZUR HALBLEITERPRÜFUNG IN BACKEND- UND WAFEREBENENVERPACKUNG

EP4121747

deponida ils 13-04-2020
MEHRSCHICHTIGES MOIRÉ-ZIEL

EP3948938

deponida ils 27-03-2020
VERBESSERTE SELBSTMORIERTE GITTERKONSTRUKTION ZUR VERWENDUNG IN DER METROLOGIE

EP3938837

deponida ils 20-03-2020
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR STRAHLSTABILISIERUNG UND REFERENZKORREKTUR FÜR EUV-INSPEKTION

EP4090947

Stritgà
MULTI-ELEKTRONENSTRAHL-SYSTEM MIT MIKRO-STIGMATOR-ARRAY

EP4091187

Stritgà
BREITBANDIGE BELEUCHTUNGSABSTIMMUNG

EP4091016

Stritgà
SYSTEM UND VERFAHREN ZUR NEIGUNGSBERECHNUNG BASIEREND AUF ÜBERLAGERUNGSMESSTECHNIK

EP4049009

Stritgà
BREITBAND-LICHTINTERFEROMETRIE ZUR FOKALKARTENERZEUGUNG BEI DER FOTOMASKENKONTROLLE

EP4042144

Stritgà
SYSTEM UND VERFAHREN ZUR ANWENDUNG VON OBERSCHWINGUNGSDETEKTIVITÄT ALS QUALITÄTSINDIKATOR FÜR BILDBASIERTE ÜBERLAGERUNGSMESSUNGEN

EP4025867

Stritgà
VAKUUMAKTUATOREINKAPSELUNG FÜR MOLEKULARE KONTAMINANTEN- UND PARTIKELABSCHWÄCHUNG

EP3987359

Stritgà
SCATTEROMETRIEMODELLIERUNG IN GEGENWART UNERWÜNSCHTER BEUGUNGSORDNUNGEN

EP3891489

Stritgà
BILDRAUSCHVERRINGERUNG UNTER VERWENDUNG EINES GESTAPELTEN ENTRAUSCHENDEN AUTOCODIERERS

EP3891491

Stritgà
FELD-ZU-FELD-KORREKTUREN UNTER VERWENDUNG VON OVERLAY-ZIELEN

EP3899509

Stritgà
HINTERLEUCHTETER SENSOR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SENSORS

EP3895215

Stritgà
AUF TIEFENLERNEN BASIERENDE ADAPTIVE REGIONEN VON INTERESSE FÜR KRITISCHE DIMENSIONSMESSUNGEN VON HALBLEITERSUBSTRATEN

EP3853885

Stritgà
HOCHAUFLÖSENDE FEHLERÜBERPRÜFUNGSBILDERZEUGUNG DURCH GENERATIVE KONTRADIKTORISCHE NETZWERKE

EP3853592

Stritgà

Possessur da 47 patents, 34 en vigur.

Da Swissreg, il register da l’Institut federal da la proprietad intellectuala: patents svizzers e patents europeics cun effect en Svizra. In patent figurescha qua, sch’il num da ses possessur è il num da questa unitad giuridica.