TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE
71254 Ditzingen
Patents
MESSSYSTEM ZUR VERWENDUNG MIT EINEM LICHTVERSTÄRKUNGSHOHLRAUM
EP3997518
EUV-LICHTQUELLE MIT EINER STRAHLLAGESTELLEINRICHTUNG
EP4424114
FOKUSSIEREINRICHTUNG MIT EINER PARALLEL ODER DECKUNGSGLEICH ZU EINER TARGETEBENE VERLAUFENDEN BILDEBENE
EP4125165
EUV-ERREGUNGSLICHTQUELLE UND EUV-LICHTQUELLE
EP4338556
EUV-LICHTQUELLE MIT EINER SEPARATIONSEINRICHTUNG
EP4331326
VARIABLE STRAHLMODULATION
EP4281823
OPTISCHE BAUGRUPPE, INSBESONDERE ZUR POLARISATION EINES LASERSTRAHLS, UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG DAMIT
EP3850412
STRAHLFALLE, STRAHLFÜHRUNGSEINRICHTUNG, EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABSORBIEREN EINES STRAHLS
EP3265268
Possessur da 8 patents, 1 en vigur.
Da Swissreg, il register da l’Institut federal da la proprietad intellectuala: patents svizzers e patents europeics cun effect en Svizra. In patent figurescha qua, sch’il num da ses possessur è il num da questa unitad giuridica.