SANSONNENS, Laurent

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SCHEIBENFÖRMIGEN WERKSTÜCKES AUF DER BASIS EINES DIELEKTRISCHEN SUBSTRATES SOWIE VAKUUMBEHANDLUNGSANLAGE HIERFÜR

SPANNUNGSUNGLEICHFÖRMIGKEITS-KOMPENSATIONSVERFAHREN FÜR EINEN HOCHFREQUENZ-PLASMAREAKTOR ZUR BEHANDLUNG RECHTECKIGER GROSSFLÄCHIGER SUBSTRATE