Wegmann, Urs

Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der verdampften Partikelmenge in einem Verdampfungsprozess

Verfahren zum Kühlen von Targets sowie Kühleinrichtung für Targets

Verfahren und Anordnung zur Steuerung der Bündelung eines Strahls monopolar geladener Partikel

Elektronenemissions-Kathode, Verfahren zum Herstellen und Elektronenstrahlerzeuger mit einer solchen Elektronenemissions-Kathode sowie Vakuumbehandlungsanlage