attocube Systems AG

80331 München

Patents

AKTIVER BIMODALER AFM-BETRIEB ZUR MESSUNGEN OPTISCHER INTERAKTION

EP3722817

filed Apr 12, 2019
GEKÜHLTER TISCH

EP3224556

filed Nov 23, 2015
OPTISCHER TISCH

EP3209954

filed Oct 22, 2015
HAFT-GLEIT-ANTRIEB, INSBESONDERE PIEZO-AKTUIERTER TRÄGHEITSANTRIEB

EP3205011

filed Oct 8, 2015
INTERFEROMETRISCHER WEGSENSOR ZUR INTEGRATION IN WERKZEUGMASCHINEN UND HALBLEITER-LITHOGRAFIESYSTEMEN

EP3137847

filed Apr 29, 2015
Elektromechanischer Aktuator

EP3035519

filed Dec 19, 2014
Doppellaserinterferometer

EP2806246

filed May 24, 2013
Vorrichtung zur Positionserfassung mit konfokalem Fabry-Perot Interferometer

EP2363685

filed Feb 9, 2010
Vorrichtung zur Positionserfassung

EP2045572

filed Oct 4, 2007
ELEKTROMECHANISCHER AKTUATOR

EP3410596

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More trademarks (5)
POSITIONIERER MIT FESTKÖRPERGELENK

EP1894258

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INERTIAL-ROTATIONSELEMENT

EP1336205

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Aufnahmevorrichtung für Proben

EP0969484

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Trägheitspositionierer

EP0823738

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Rastersondenmikroskop mit gekoppelter Oszillatoranordnung

CH686906

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Holder of 15 patents, 9 in force.

From Swissreg, the register of the Federal Institute of Intellectual Property: Swiss patents and European patents with effect in Switzerland. A patent is listed here when its holder’s name is this entity’s.