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Patents

MEHRTEILIGE PLASMABEGRENZUNGSRINGSTRUKTUR

EP4352775

filed May 16, 2022

GERÄT MIT EINER WÄGEEINRICHTUNG

EP4352466

filed Apr 13, 2022

KANTENRING FÜR EIN PLASMABEARBEITUNGSSYSTEM

EP4036955

filed Aug 4, 2020

VORRICHTUNG ZUR GEPULSTEN LASERABSCHEIDUNG

EP3919650

filed Jun 4, 2020

RF-SCHALTUNG MIT DIREKTANTRIEB FÜR SUBSTRATVERARBEITUNGSSYSTEME

EP3807921

filed May 23, 2019

SYSTEME UND VERFAHREN ZUR PULSBREITENMODULIERTEN DOSISSTEUERUNG

EP3688794

filed Sep 21, 2018

ENTWURFSLAYOUTMUSTERNÄHERUNGSKORREKTUR DURCH KANTENPLAZIERUNGSFEHLERVORHERSAGE

EP3619577

filed Apr 27, 2018

AKTIVER DUSCHKOPF

EP3539150

filed Oct 25, 2017

WÄGEVORRICHTUNG FÜR EINE HALBLEITERSCHEIBE

EP4490474

Deleted

VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON PIEZOELEKTRISCHEM MATERIAL AUS HOCHDOTIERTEM ALUMINIUMNITRID

EP4224543

Deleted

More trademarks (40)

C-MANTEL-MODIFIKATION FÜR PLASMAGLEICHFÖRMIGKEIT OHNE AUSWIRKUNG AUF DIE MECHANISCHE FESTIGKEIT ODER LEBENSDAUER DES C-MANTEL-KÖRPERS

EP4292118

Deleted

FRAKTALBRAUSEKOPF MIT ZWEI KAMMERN

EP4046182

Deleted

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SCANDIUM-ALUMINIUMNITRIDTARGETS FÜR PLD

EP3964603

Deleted

DYNAMISCHE MANTELSTEUERUNG MIT RANDRINGHEBUNG

EP3887570

Deleted

VERWENDUNG VON IDENTIFIKATOREN ZUR ZUORDNUNG VON RANDRINGTEILENUMMERN ZU SCHLITZNUMMERN

EP3844805

Deleted

ATOMLAGENÄTZEN UND GLÄTTEN VON REFRAKTÄREN METALLEN UND ANDEREN MATERIALIEN MIT HOHER OBERFLÄCHENBINDUNGSENERGIE

EP3776636

Deleted

DREHGEBER MIT ZUSÄTZLICHEN DREHACHSEN

EP3738142

Deleted

KOMPONENTEN UND VERFAHREN ZUR VERWALTUNG VON PLASMAPROZESSNEBENPRODUKTMATERIALIEN

EP3738136

Deleted

WAFER-HANDHABUNGSROBOTER MIT DREHGELENK-ENCODERN

EP3711086

Deleted

PLASMAQUELLE OHNE IMPEDANZANPASSUNG FÜR DIE HERSTELLUNG VON HALBLEITERWAFERN UND VERFAHREN ZUM BEREITSTELLEN VON RADIOFREQUENZ AN EINE ELEKTRODE EINER PLASMAKAMMER

EP3698395

Deleted

ELEKTROMAGNETISCHE GUSS-SYSTEME UND -VERFAHREN MIT ÖFEN UND FORMEN ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUMROHREN

EP3691814

Deleted

HOCHENERGIE-ATOMLAGENÄTZUNG

EP3692567

Deleted

SYSTEME UND VERFAHREN ZUR PULSBREITENMODULIERTEN DOSISSTEUERUNG

EP4235743

Deleted

SYSTEM UND VERFAHREN ZUR AUTOMATISIERUNG DER BENUTZERINTERAKTION FÜR HALBLEITERHERSTELLUNGSAUSRÜSTUNG

EP3454141

Deleted

SYSTEME UND VERFAHREN ZUR KOMBINATION OPTISCHER METROLOGIE MIT MASSENMETROLOGIE

EP3679598

Deleted

GELENKIGER DIREKTMONTIERTER INDUKTOR UND ZUGEHÖRIGE SYSTEME UND VERFAHREN

EP3416174

Deleted

ELEKTROSTATISCHES SPANNFUTTER ZUR VERWENDUNG IN DER HALBLEITERVERARBEITUNG

EP3631846

Deleted

PLATZSPARENDE PLATTFORMARCHITEKTUR MIT LINEAREM VAKUUMÜBERTRAGUNGSMODUL

EP3596752

Deleted

STEUERUNG DER DIREKTIONALITÄT BEI DER ATOMSCHICHTÄTZUNG

EP3586357

Deleted

VERFAHREN UND SYSTEM ZUM FESTHALTEN EINES ISOLATIONS-ARTIGEN SUBSTRATS WÄHREND DER PLASMA-VERARBEITUNG DES ISOLATIONS-ARTIGEN SUBSTRATS

EP3364446

Deleted

HOCH-PRODUCTIVES BESCHICHTUNGS-SYSTEM

EP3352205

Deleted

KANTENRING ZUR VERWENDUNG IN EINER PLASMAPROZESSKAMMER UND SYSTEM ZUR BEFESTIGUNG EINES SOLCHEN KANTENRINGES

EP3724912

Deleted

BODEN- UND MITTELRANDRINGE

EP3566245

Deleted

UNTERE RANDRINGE

EP3843129

Deleted

VERFAHREN UND PROZESS ZUR IMPLEMENTIERUNG VON MASCHINELLEM LERNEN IN EINE KOMPLEXE MULTIVARIATE WAFERBEARBEITUNGSAUSRÜSTUNG

EP3512977

Deleted

ENTWÜRFE FÜR BEWEGLICHEN KANTRING

EP3580777

Deleted

KONSTRUKTION ZUR LAGERUNG UND ORGANISATION VON TEILEN MIT MINIMAL-KONTAKT-FLÄCHE UND WAFER TRANSFER PINS WÄHREND DER SYSTEM WARTUNG

EP3176815

Deleted

RANDRING-ANORDNUNG ZUR VERBESSERUNG DER PROFILNEIGUNG VON STRUKTUREN AM ÄUSSERSTEN RAND EINES WAFERS

EP3133635

Deleted

GASVERSORGUNGSZUFÜHRUNGSVORRICHTUNG MIT EINEM GASTEILER FÜR EINSTELLBARE GASDURCHFLUSSREGELUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DER GASVERSORGUNGSZUFÜHRUNGSVORRICHTUNG

EP3207558

Deleted

VERFAHREN ZUM IDENTIFIZIEREN VON EINEM PROZESSPUNKT IN EINEM MULTI-MODUS PULS-VERFAHREN

EP3012855

Deleted

BEGRENZUNGSRING UND HALBLEITERWAFERBEARBEITUNGSSYSTEM DAMIT

EP2417627

Deleted

VERFAHREN UND VORRICHTUNG FÜR DOPPELSCHUTZ UND ULTRAHOHEN DRUCK IN EINER EINSTELLBAREN GLASPLASMAKAMMER

EP2380412

Deleted

UNTERE ELEKTRODENANORDNUNG FÜR EINE PLASMAVERARBEITUNGSKAMMER

EP2342951

Deleted

VERBUNDDUSCHKOPFELEKTRODENANORDNUNG FÜR EINE PLASMAVERARBEITUNGSVORRICHTUNG

EP2316253

Deleted

EINGESPANNTE DUSCHKOPFELEKTRODE

EP2301308

Deleted

EINGESPANNTE DUSCHKOPFELEKTRODENANORDNUNG

EP2301309

Deleted

VERFAHREN ZUR WIEDERINSTANDSETZUNG VON ELEKTRODEN AUS MEHREREN BESTANDTEILEN

EP2298042

Deleted

DUSCHKOPF-ELEKTRODENBAUGRUPPEN FÜR PLASMAVERARBEITUNGSVORRICHTUNGEN

EP2301067

Deleted

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR UNTERSUCHUNG UND KONTROLLE EINER METALLISIERUNGSLÖSUNG

EP2240626

Deleted

ENTFLUORISIERUNGSPROZESS

EP2074648

Deleted

Holder of 181 patents, 8 in force.

From Swissreg, the register of the Federal Institute of Intellectual Property: Swiss patents and European patents with effect in Switzerland. A patent is listed here when its holder’s name is this entity’s.