Versum Materials US, LLC

Tempe, AZ

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REINIGUNG NACH EINER CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG (CMP)

EP4204529

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NEUE VORLÄUFER ZUR ABSCHEIDUNG VON FILMEN MIT HOHEM ELASTIZITÄTSMODUL

EP4110969

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KOAXIALER VENTILBLOCK MIT BEGRENZTEM VOLUMEN

EP4094002

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VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINES FILMS

EP4065746

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ENTGASER, ENTGASUNGSSYSTEME UND VERFAHREN ZU DEREN VERWENDUNG

EP3924085

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ÄTZLÖSUNG UND VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ENTFERNEN VON SILICIUMNITRID WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

EP3938465

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CHEMISCHER UND MECHANISCHER POLIERSCHLAMM ZUR ISOLIERUNG VON FLACHEN GRÄBEN

EP3702424

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CHEMISCH-MECHANISCHES PLANARISIERUNGS(CMP)-POLIEREN DURCH FLACHE GRABENISOLATION MIT ABSTIMMBAREN SILIZIUMOXID- UND SILIZIUMNITRIDABTRAGSRATEN

EP3689988

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GRABENISOLATIONS (STI)-POLIEREN MIT CHEMISCH-MECHANISCHEM PLANARISIEREN MIT NIEDRIGER SCHLEIFMITTELKONZENTRATION UND EINER KOMBINATION VON CHEMISCHEN ADDITIVEN

EP3686257

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SYSTEM UND VERFAHREN ZUM TROCKNEN UND ANALYTISCHEN TESTEN VON BEHÄLTERN

EP3686533

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ÄTZLÖSUNG MIT SILICIUMOXIDKORROSIONSHEMMER UND VERWENDUNGSVERFAHREN DAFÜR

EP3666852

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UNTERDRÜCKUNG DER SIN-ENTFERNUNGSRATEN UND REDUZIERUNG DES OXID-TRENCH-DISHING FÜR PROZESS DER FLACHGRABENISOLATION (STI)

EP3647384

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VERBESSERUNG DER BESEITIGUNGSRATE VON BARRIERESCHLAMM

EP3628714

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HOCHOXID- VS NITRIDSELEKTIVITÄT, TRENCH-DISHING MIT NIEDRIGEM UND GLEICHMÄSSIGEM OXIDGEHALT BEIM CHEMISCH-MECHANISCHEN POLIEREN UND PLANARISIEREN MIT FLACHGRABENISOLATION (STI)

EP3628713

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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUM- UND STICKSTOFFHALTIGEN SCHICHTEN

EP3620549

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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUMHALTIGEN SCHICHTEN MIT HOHEM KOHLENSTOFFGEHALT

EP3620550

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STABILE ALKENYL ODER ALKINYL ENTHALTENDE ORGANOSILICIUMVORLÄUFERZUSAMMENSETZUNGEN

EP3841104

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OXIDPOLIERZUSAMMENSETZUNG ZUR CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG

EP3608379

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CHEMISCH-MECHANISCHE PLANARISIERUNG (CMP) VON WOLFRAM MIT GERINGER MULDENBILDUNG UND TOPOGRAFIE MIT NIEDRIGER EROSION

EP3604468

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ZUSAMMENSETZUNG ZUR TITAN-NITRID-HARTMASKENENTFERNUNG UND REINIGUNG VON ÄTZRESTEN

EP3599634

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ZUSAMMENSETZUNGEN ZUM REINIGEN VON RÜCKSTÄNDEN NACH DEM ÄTZEN UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DAVON

EP3599633

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CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN VON WOLFRAM FÜR REDUZIERTE OXIDEROSION

EP3597711

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CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN FÜR NIEDRIGES OXID-TRENCH-DISHING

EP3587525

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REINIGUNG NACH DER CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG (CMP)

EP3588535

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BIS(DIAZADIEN)KOBALT-VERBINDUNGEN, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DAVON

EP3584250

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FOTOLACKABZIEHZUSAMMENSETZUNG UND -VERFAHREN

EP3573091

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PHOTOLACKENTFERNER

EP3553811

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ORGANOAMINOFUNKTIONALISIERTE CYCLISCHE OLIGOSILOXANE ZUR ABSCHEIDUNG VON SILICIUMHALTIGEN FOLIEN

EP3553204

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VERWENDUNG EINER ÄTZLÖSUNG FÜR WOLFRAM-WORTLEITUNGSAUSSPARUNG

EP3540764

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PHOTOLACKENTFERNER

EP3537474

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ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/GERMANIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

EP3537473

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PHOTOLACKENTFERNER

EP3502225

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SILACYCLISCHE VERBINDUNGEN UND VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON SILICIUMHALTIGEN FILMEN UNTER VERWENDUNG DAVON

EP3476971

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KOMPOSITPARTIKEL, VERFAHREN ZUR VERFEINERUNG UND VERWENDUNG DAVON

EP3476910

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ABLÖSERLÖSUNGEN UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG VON ABLÖSERLÖSUNGEN

EP3688132

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ZUSAMMENSETZUNGEN UND VERFAHREN ZUR VERHINDERUNG DES KOLLABIERENS VON STRUKTUREN MIT HOHEM ASPEKTVERHÄLTNIS WÄHREND DER TROCKNUNG

EP3688131

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ÄTZLÖSUNG ZUR GLEICHZEITIGEN ENTFERNUNG VON SILICIUM UND SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

EP3684887

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VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON SILIKONHALTIGEN SCHICHTEN

EP3682041

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ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG VON SILICIUM AUS EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

EP3447109

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ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

EP3447791

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Holder of 167 patents, 8 in force.

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