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Machines and engines · Electronics, software and instruments · Medical devices · Lighting, heating and sanitary

Maschinen und Maschinenteile, nämlich Formkabellege- und Anschlussmaschinen, Maschinen zur Fertigung von Statoren elektrischer Motoren; halb- und vollautomatische technologische Spezialausrüstungen, Baugruppen und Fertigungseinrichtungen zum Be- und Verarbeiten von Halbleiterwerkstoffen, nämlich Maschinen zur Schichtherstellung mittels Aufsprüh-, Oxidations- und Abscheideverfahren, Diffusionsanlagen; Anlagen zur Durchführung fotolithografischer Prozesse, nämlich Beschichtungs-, Entwicklungs- und Tempereinrichtungen für Widerstandswerkstoffe, Justier- und Belichtungseinrichtungen, Strahlbearbeitungsanlagen; Verbindungseinrichtungen; Maschinen zur Montage von mikroelektronischen Bauelementen, Testeinrichtungen für Halbleitersubstrate und -bauelemente sowie elektronische Bauelemente; Sonotroden; Anlagen zur Schichtabtragung, nämlich Ätzeinrichtungen; Maschinen für thermische Prozesse und fotolithografische Kontrollprozesse; Sortiereinrichtungen für mikroelektronische Bauelemente; Laminarboxen; elektronische und elektrotechnische Geräte und Anlagen für Handhabetechnik und Prozessautomatisierung, nämlich Transport- und Magaziniereinrichtungen für Halbleiterwerkstoffe, -bauelemente und -magazine sowie elektronische Bauelemente; Ultraschallreinigungsgeräte für die Halbleiterindustrie, für Kleinteile der Medizin- und Labortechnik und für die Uhrenindustrie; aktive mikroelektronische Bauelemente, nämlich hoch- und höchstintegrierte Schaltkreise.

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