AEGD fusion

Machines and engines

Maschinen und maschinelle Anlagen zum Beschichten von Werkstoffen und Bauteilen, insbesondere durch physikalische, chemische oder elektrochemische Verfahren; Maschinen und Anlagen zum Ätzen von Oberflächen, insbesondere für metallische, keramische, glasartige oder halbleiterbasierte Werkstoffe; automatisierte Produktionsanlagen zum Beschichten und/oder Ätzen von technischen Bauteilen; industrielle Beschichtungsanlagen, insbesondere Vakuum-, Plasma-, PVD-, CVD- oder vergleichbare Beschichtungsanlagen; Maschinen zum chemischen und physikalischen Oberflächenbehandeln von Werkstoffen; Anlagenkombinationen, bestehend aus Beschichtungs- und Ätzmodulen; maschinelle Geräte und Anlagen zur Vor- und Nachbehandlung von Oberflächen im Zusammenhang mit Beschichtungs- und Ätzprozessen; Teile und Zubehör für die vorgenannten Maschinen und Anlagen, soweit in Klasse 7 enthalten.

Electronics, software and instruments

Elektrische, elektronische und optische Apparate und Instrumente zur Steuerung, Regelung, Überwachung und Analyse von Beschichtungs- und Ätzprozessen; Mess-, Prüf- und Analysegeräte zur Bestimmung von Schichtdicken, Oberflächenstrukturen, Materialeigenschaften und Prozessparametern; Prozesssteuerungs- und Regelungssysteme für technische Anlagen zum Beschichten und Ätzen; industrielle Steuerungselektronik, Sensoren und Messfühler für Beschichtungs- und Ätzanlagen; Software für die Steuerung, Überwachung, Simulation, Dokumentation und Optimierung v on Beschichtungs- und Ätzprozessen; Computersoftware für die Auswertung von Prozess- und Messdaten aus Beschichtungs- und Ätzanlagen; Datenträger und Speichermedien mit vorgenannter Software.

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