LITHOGRAFISCHES VERFAHREN

Patent europeic · EP3627228 · En vigur

Inscripziun en il register

Numer da publicaziun
EP3627228
Numer da la dumonda
EP19206439
Gener
Patent europeic cun effect per la Svizra ed il Liechtenstein
Status
En vigur
Scrittira da patent
Concedì
Annunzià
04-09-2018
Publitgà
25-03-2020
Concedì
14-01-2026
La protecziun finescha il pli tard
03-09-2038
Proxima taxa annuala scadenta
30-09-2026
Classas IPC
G03F 9/00 (2006.01)
G03F 7/00 (2006.01)
Prioritad
EP 17193637 28.09.2017
EP 18164511 28.03.2018
EP 18166720 11.04.2018
Derivà da
EP18768811
Lingua da l’annunzia
englais
Funtauna
Swissreg

Istorgia

Quai che l’Institut federal da la proprietad intellectuala ha publitgà davart quest titel, il pli nov l’emprim.

  1. 14-01-2026

    Concedì

    Specification status
    Non-published patent application → Granted patent
    Status of protective title
    Initiated → Active

    Published in Swissreg on 14.01.2026

Partidas

Possessur

ASML Netherlands B.V.

P.O. Box 324, 5500 AH Veldhoven, NL

Inventur

BIJNEN, Franciscus Godefridus Casper

5500 AH Veldhoven, NL

BRINKHOF, Ralph

5500 AH Veldhoven, NL

CEKLI, Hakki, Ergun

5500 AH Veldhoven, NL

COX, Matthijs

5500 AH Veldhoven, NL

ERDAMAR, Ahmet Koray

5500 AH Veldhoven, NL

GOOSEN, Maikel Robert

5500 AH Veldhoven, NL

HULSEBOS, Edo Maria

5500 AH Veldhoven, NL

KOU, Weitian

5500 AH Veldhoven, NL

MEGENS, Henricus Johannes Lambertus

5500 AH Veldhoven, NL

RIJPSTRA, Manouk

5500 AH Veldhoven, NL

ROELOFS, Willem Seine Christian

5500 AH Veldhoven, NL

TINNEMANS, Patricius Aloysius Jacobus

5500 AH Veldhoven, NL

VAN DE VEN, Wendy Johanna Martina

5500 AH Veldhoven, NL

VAN T WESTEINDE, Maaike

5500 AH Veldhoven, NL

VERHEES, Loek Johannes Petrus

5500 AH Veldhoven, NL

VU, Tran Thanh Thuy

5500 AH Veldhoven, NL

YAGUBIZADE, Hadi

5500 AH Veldhoven, NL

Il register numna mintga partida cun num ed adressa. In possessur u in represchentant vegn collià cun in’organisaziun, sch’exact ina unitad giuridica dal register da commerzi porta ses num; la via d’ina partida betg enconuschida uschia na vegn betg mussada qua.