ASML Netherlands B.V.
5503 LA Veldhoven
Brevets
POSITIONSMESSSYSTEM UND LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG
EP4616142
SYSTEM UND VERFAHREN ZUM ZÄHLEN VON PARTIKELN AUF EINEM DETEKTOR WÄHREND DER INSPEKTION
EP4558845
VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG EINER ABSOLUTEN POSITION EINES BEWEGLICHEN OBJEKTS, INTERFEROMETERSYSTEM, PROJEKTIONSSYSTEM UND LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG
EP4548039
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER MUSTERKARTE, COMPUTERPROGRAMMPRODUKT
EP4449483
SYSTEME UND VERFAHREN ZUR REDUZIERUNG DER MUSTERVERSCHIEBUNG IN EINER LITHOGRAFIEVORRICHTUNG
EP4445219
KAMMER FÜR EIN PROJEKTIONSSYSTEM EINER LITHOGRAPHISCHEN VORRICHTUNG, PROJEKTIONSSYSTEM UND LITHOGRAPHISCHES GERÄT
EP4413423
VERFAHREN ZUR KONVERTIERUNG VON METROLOGIEDATEN
EP4399573
SYSTEME UND VERFAHREN ZUR ERKENNUNG VON DEFEKTEN IN EINER STRUKTURIERUNGSVORRICHTUNG
EP4399571
VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG EINES LITHOGRAPHISCHEN VERFAHRENS UND ZUGEHÖRIGE VORRICHTUNGEN
EP4399572
LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG, SUBSTRATTISCH UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
EP4359868
Autres marques (40)
VERFAHREN ZUR ENTKOPPLUNG VON VARIATIONSQUELLEN IN DER HALBLEITERHERSTELLUNG
EP4367556
HYBRIDE PHOTORESISTZUSAMMENSETZUNG FÜR EXTREM ULTRAVIOLETTE PHOTOLITHOGRAFIEANWENDUNGEN
EP4348350
OPTISCHE VORRICHTUNG MIT GELADENEN TEILCHEN UND METHODE
EP4341979
BREITBANDSTRAHLUNGSGENERATOR MIT HOHLKERN AUF DER BASIS VON PHOTONISCHEN KRISTALLFASERN
EP4012494
SCHWINGUNGSISOLATOR ZUM UNTERSTÜTZEN EINER NUTZLAST
EP4151880
SYSTEME UND VERFAHREN ZUR BILDBASIERTEN MUSTERAUSWAHL
EP4200671
VORRICHTUNG ZUR VERARBEITUNG EINER RETIKEL- UND PELLIKELANORDNUNG
EP4200670
HOHLKERNFASERLICHTQUELLE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HOHLKERNFASER
EP4193205
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON BREITBANDSTRAHLUNG UND ZUGEHÖRIGE BREITBANDQUELLE UND METROLOGIEVORRICHTUNG
EP4189477
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINES ENTRAUSCHUNGSMODELLS
EP4182881
OPTISCHES ELEMENT UND MEMBRAN FÜR EINEN LITHOGRAPHISCHEN APPARAT
EP4158423
ANORDNUNG MIT EINEM NICHTLINEAREN ELEMENT UND VERFAHREN ZU DEREN VERWENDUNG
EP4127830
SUBSTRAT UNTERSTÜTZUNG UND SUBSTRATTISCH
EP4111261
LITHOGRAFISCHES SYSTEM MIT EINER ABLENKVORRICHTUNG ZUM ÄNDERN EINER FLUGBAHN VON TEILCHENFÖRMIGEM SCHUTT
EP4094125
ANORDNUNG ZUR BÜNDELUNG VON BREITBANDSTRAHLUNG
EP3789809
STRAHLUNGSQUELLE
EP4428610
MONTIERTE HOHLKERNFASERANORDNUNG
EP3754389
MESSSYSTEM ZUR VERWENDUNG MIT EINEM LICHTVERSTÄRKUNGSHOHLRAUM
EP3997518
OBJEKTPOSITIONIERER UND LITHOGRAFISCHES GERÄT
EP3963403
REINIGUNGSVERFAHREN
EP3707560
LITHOGRAFISCHES VERFAHREN
EP3627228
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR DETEKTION GELADENER TEILCHEN
EP4163950
DURCHFÜHRUNGSVORRICHTUNG UND SIGNALLEITERBAHNANORDNUNG
EP3563456
BESTIMMUNG EINER OPTIMALEN BETRIEBSPARAMETEREINSTELLUNG EINES METROLOGIESYSTEMS
EP3538954
MEMBRANANORDNUNG
EP3391140
MESSSUBSTRAT UND MESSVERFAHREN
EP3380894
TRAGETISCH FÜR EINE LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG, VERFAHREN ZUM LADEN EINES SUBSTRATS, LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG UND VORRICHTUNGSHERSTELLUNGSVERFAHREN
EP3210080
TRAGETISCH FÜR EINE LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG, LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE VORRICHTUNG
EP3137945
OBJEKTHALTER, LITHOGRAPHISCHER APPARAT UND LITHOGRAPHISCHES VERFAHREN
EP2856261
SUBSTRATHALTER UND LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG
EP2810128
SUBSTRATHALTER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SUBSTRATHALTERS
EP2810127
EUV-BELICHTUNGSGERÄT
EP3674798
WELLENLEITER UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR
EP4202509
VERFAHREN ZUM BEARBEITEN EINER PROBE MITTELS EINER TEILCHENSTRAHLVORRICHTUNG ZUR BEWERTUNG
EP4453991
BESTIMMUNG EINES ÄTZEFFEKTS AUF BASIS EINER GERICHTETEN ÄTZRESERVE
EP4433869
BESTIMMUNG EINER MESSREZEPTUR IN EINEM METROLOGISCHEN VERFAHREN
EP4419968
AUF PHOTONISCHER HOHLKERNKRISTALLFASER-BASIERTE MEHRWELLENLÄNGEN-LICHTQUELLENVORRICHTUNG
EP4060404
SYSTEM FÜR GELADENE TEILCHEN, VERFAHREN ZUR BEARBEITUNG EINER PROBE UNTER VERWENDUNG EINES MEHRFACHSTRAHLS VON GELADENEN TEILCHEN
EP4260357
TOPOLOGIEBASIERTE BILDWIEDERGABE IN INSPEKTIONSSYSTEMEN MIT GELADENEN TEILCHENSTRAHLEN
EP4264373
MIKROSPIEGELARRAYS
EP4260121
Titulaire de 302 brevets, 42 en vigueur.
Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.