EUV-BELICHTUNGSGERÄT

Brevet européen · EP3674798 · En vigueur

Inscription au registre

Numéro de publication
EP3674798
Numéro de demande
EP20151898
Type
Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
Statut
En vigueur
Fascicule
Délivré
Déposé
28 juil. 2011
Publié
1 juil. 2020
Délivré
3 sept. 2025
Fin de la protection au plus tard
27 juil. 2031
Prochaine annuité due
31 juil. 2026
Classes CIB
G03F 7/20 (2006.01)
G21K 1/06 (2006.01)
G02B 5/08 (2006.01)
G02B 7/18 (2021.01)
B82Y 10/00 (2011.01)
G02B 17/06 (2006.01)
G02B 27/00 (2006.01)
Priorité
US 36914210 P 30.07.2010
Divisionnaire de
EP11740883
Langue du dépôt
anglais
Source
Swissreg

Historique

Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.

  1. 15 juil. 2026

    Modification

    Publié dans Swissreg le 15.07.2026

  2. 3 sept. 2025

    Délivré

    Statut du fascicule
    Demande de brevet non publiée → Brevet délivré
    Statut du titre de protection
    Initiée → Actif

    Publié dans Swissreg le 03.09.2025

Parties

Inventeur

BAER, Norman

73430 Aalen, DE

LOERING, Ulrich

89073 Ulm, DE

NATT, Oliver

90451 Nürnberg, DE

WITTICH, Gero

73431 Aalen, DE

LAUFER, Timo

70180 Stuttgart, DE

KUERZ, Peter

73434 Aalen, DE

LIMBACH, Guido

73434 Aalen, DE

HEMBACHER, Stefan

86399 Bobingen, DE

WALTER, Holger

73453 Abtsgmünd, DE

KWAN, Yim-Bun-Patrick

73447 Oberkochen, DE

HAUF, Markus

89075 Ulm, DE

STICKEL, Franz-Josef

73434 Aalen-Unterrombach, DE

VAN SCHOOT, Jan

5504 Veldhoven, NL

Le registre désigne chaque partie par son nom et son adresse. Un titulaire ou un mandataire est lié à une organisation lorsqu’une seule entité du registre du commerce porte son nom ; la rue d’une partie non reconnue ainsi n’est pas affichée ici.