Carl Zeiss SMT GmbH
73447 Oberkochen
Brevets
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ANALYSIEREN EINES BILDES EINER MIKROSTRUKTURIERTEN PROBE FÜR DIE MIKROLITHOGRAPHIE
EP4468251
MIKROELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG
EP4584212
INTERFEROMETRISCHES MESSVERFAHREN UND INTERFEROMETRISCHES MESSSYSTEM
EP4336138
MIKROOPTISCHES ELEMENT
EP4573403
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES GRUNDKÖRPERS EINES OPTISCHEN ELEMENTES FÜR DIE HALBLEITERLITHOGRAFIE UND GRUNDKÖRPER FÜR EIN OPTISCHES ELEMENT
EP4551533
OPTISCHES ELEMENT MIT KÜHLKANÄLEN UND OPTISCHE ANORDNUNG
EP4402539
OPTISCHES ELEMENT, OPTISCHE PROJEKTIONSEINHEIT UND PROJEKTIONSBELICHTUNGSVORRICHTUNG
EP4384874
VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG EINER ABBILDUNGSQUALITÄT EINES OPTISCHEN SYSTEMS BEI BELEUCHTUNG MIT BELEUCHTUNGSLICHT INNERHALB EINER ZU VERMESSENDEN PUPILLE
EP4095505
SEGMENTIERUNG ODER QUERSCHNITT VON STRUKTUREN MIT HOHEM ASPEKTVERHÄLTNIS
EP4327274
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SPIEGELS EINER MIKROLITHOGRAPHISCHEN PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE
EP4320467
Autres marques (40)
VERFAHREN ZUM REINIGEN EINER OBERFLÄCHE, REINIGUNGSVORRICHTUNG UND OPTISCHE ANORDNUNG
EP4309003
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MEHRTEILIGEN SPIEGELS EINER PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE FÜR DIE MIKROLITHOGRAPHIE
EP4291929
VORRICHTUNG ZUM POSITIONIEREN UND HALTEN ZUMINDEST EINES OPTISCHEN ELEMENTS, MESSSYSTEM
EP4275085
SCHWINGUNGSISOLATOR ZUM UNTERSTÜTZEN EINER NUTZLAST
EP4151880
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG EINER AUSRICHTUNG EINER PHOTOMASKE AUF EINEM UM MINDESTENS EINE ACHSE DREHBAREN PROBENTISCH
EP4168859
ANTRIEBSVORRICHTUNG, OPTISCHES SYSTEM UND LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG
EP4140031
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG EINER LUFTBILDSIMULATION EINER FOTOLITHOGRAFISCHEN MASKE
EP4081865
OPTISCHE BEUGUNGSKOMPONENTE
EP4022365
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ATOMLAGENVERARBEITUNG
EP3933882
SPIEGEL FÜR EINE BELEUCHTUNGSOPTIK EINER PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE MIT EINEM SPEKTRALFILTER IN FORM EINER GITTERSTRUKTUR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SPEKTRALFILTERS IN FORM EINER GITTERSTRUKTUR AUF EINEM SPIEGEL
EP3887878
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR STRAHLWINKELMESSUNG EINES VON EINER STRAHLFÜHRUNGSOPTIK GEFÜHRTEN LICHTSTRAHLS
EP3861401
STRAHLUNGSQUELLE UND VORRICHTUNG ZUR RÜCKKOPPLUNG VON EMITTIERTER STRAHLUNG IN EINE LASERQUELLE
EP3827488
PUPILLENFACETTENSPIEGEL, BELEUCHTUNGSOPTIK UND OPTISCHES SYSTEM FÜR EINE PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE
EP3737999
Verfahren und Vorrichtungen zum Entwerfen optischer Systeme
CH714206
SYSTEM, VERFAHREN UND MARKER ZUR POSITIONSBESTIMMUNG EINES BEWEGLICHEN OBJEKTES IM RAUM
EP3642560
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM TESTEN VON PHOTONISCHEN INTEGRIERTEN SCHALTUNGEN
EP3574333
OPTISCHES SYSTEM, INSBESONDERE FÜR EINE MIKROLITHOGRAFISCHE PROJEKTIONSBELICHTUNGSVORRICHTUNG
EP3559749
MESSVERFAHREN UND MESSANORDNUNG FÜR EIN ABBILDENDES OPTISCHES SYSTEM
EP3298446
EINRICHTUNG ZUR VERSCHWENKUNG EINES SPIEGEL-ELEMENTS MIT ZWEI SCHWENK-FREIHEITSGRADEN UND SENSOR ZUR BESTIMMUNG DER VERSCHWENKUNG
EP3271771
IONISIERUNGSVORRICHTUNG UND MASSENSPEKTROMETRIEVORRICHTUNG DAMIT
EP3234978
EUV-LICHTQUELLE FÜR EINE BELEUCHTUNGSEINRICHTUNG EINER MIKROLITHOGRAPHISCHEN PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE
EP3123246
Vorrichtung zur massenselektiven Bestimmung eines Ions
EP2804200
VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN PRÜFUNG VON GASGEMISCHEN UND MASSENSPEKTROMETER DAFÜR
EP2951851
OPTISCHES BAUELEMENT ZUR FÜHRUNG EINES STRAHLUNGSBÜNDELS
EP2841977
STRAHLFÜHRUNGSOPTIK FÜR EIN VIELSTRAHLSYSTEM
EP2841976
EUV-BELICHTUNGSGERÄT
EP3674798
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR MASKENREPARATUR
EP4250005
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERZEUGEN MINDESTENS EINER HOHLSTRUKTUR, SPIEGEL, EUV-LITHOGRAPHIESYSTEM, FLUIDZUFÜHRUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ZUFÜHREN EINES FLUIDS
EP4448213
ARBEITSABLAUF ZUM AUSRICHTEN EINER HALBLEITERPROBE UND/ODER ZUM MESSEN IHRER FEHLAUSRICHTUNG IN EINER FIB-SEM- ODER FIB-HIM-VORRICHTUNG
EP4413358
COMPUTER-GENERIERTES HOLOGRAMM (CGH), SOWIE VERFAHREN ZUR AUSLEGUNG EINES CGH
EP4441461
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SPIEGELS FÜR EINE LITHOGRAPHIEANLAGE
EP4320484
OPTISCHE ANORDNUNG FÜR DEN FUV/VUV-WELLENLÄNGENBEREICH
EP4314926
OPTISCHES ELEMENT, INSBESONDERE ZUR REFLEXION VON EUV-STRAHLUNG, OPTISCHE ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES OPTISCHEN ELEMENTS
EP4237884
PUPILLENFACETTENSPIEGEL FÜR EINE BELEUCHTUNGSOPTIK EINER PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE
EP4204902
OPTISCHES ELEMENT, OPTISCHES SYSTEM, LITHOGRAPHIEANLAGE UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES OPTISCHEN ELEMENTS
EP4176315
ANTRIEBSVORRICHTUNG, OPTISCHES SYSTEM UND LITHOGRAPHIEGERÄT
EP4143961
VERFAHREN, ANSTEUEREINRICHTUNG, OPTISCHES SYSTEM UND LITHOGRAPHIEANLAGE
EP4133589
PARTIKELPRÜFSYSTEM, PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE UND VERFAHREN ZUR PRÜFUNG EINER PARTIKELBELASTUNG EINER OBERFLÄCHE
EP4107583
MESSVORRICHTUNG ZUR INTERFEROMETRISCHEN FORMVERMESSUNG
EP4107480
EUV-REFLEKTOMETER
EP4100721
Titulaire de 303 brevets, 36 en vigueur.
Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.