STRAHLFÜHRUNGSOPTIK FÜR EIN VIELSTRAHLSYSTEM

Europäisches Patent · EP2841976 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP2841976
Anmeldenummer
EP13716000
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
15.04.2013
Veröffentlicht
04.03.2015
Erteilt
07.04.2021
Schutz endet spätestens
14.04.2033
Nächste Jahresgebühr fällig
30.04.2027
IPC-Klassen
G02B 26/08 (2006.01)
Priorität
DE 102012206609 23.04.2012
US 201261636816 P 23.04.2012
PCT-Anmeldung
PCT/EP2013/057824 15.04.2013
PCT-Veröffentlichung
WO2013/160138 31.10.2013
Anmeldesprache
Deutsch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 01.05.2026

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.05.2026

  2. 01.05.2025

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.05.2025

  3. 01.05.2024

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.05.2024

  4. 01.05.2023

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.05.2023

  5. 16.02.2022

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 16.02.2022

  6. 07.04.2021

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 07.04.2021

Beteiligte

Inhaberin

Carl Zeiss SMT GmbH

Rudolf-Eber-Strasse 2, 73447 Oberkochen, DE

Erfinderin/Erfinder

FELDMANN, Heiko

73430 Aalen, DE

VÖLCKER, Martin

89551 Königsbronn, DE

HILLERICH, Bernd

89073 Ulm, DE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.