SUBSTRATHALTER UND LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG

Brevet européen · EP2810128 · En vigueur

Inscription au registre

Numéro de publication
EP2810128
Numéro de demande
EP13700893
Type
Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
Statut
En vigueur
Fascicule
Délivré
Déposé
17 janv. 2013
Publié
10 déc. 2014
Délivré
2 oct. 2019
Fin de la protection au plus tard
16 janv. 2033
Prochaine annuité due
31 janv. 2027
Classes CIB
G03F 7/20 (2006.01)
Priorité
US 201261594857 P 03.02.2012
US 201261621648 P 09.04.2012
US 201261621660 P 09.04.2012
Demande PCT
PCT/EP2013/050818 17.01.2013
Publication PCT
WO2013/113568 08.08.2013
Langue du dépôt
anglais
Source
Swissreg

Historique

Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.

  1. 1 févr. 2026

    Modification

    Publié dans Swissreg le 01.02.2026

  2. 1 févr. 2025

    Modification

    Publié dans Swissreg le 01.02.2025

  3. 1 févr. 2024

    Modification

    Publié dans Swissreg le 01.02.2024

  4. 1 févr. 2023

    Modification

    Publié dans Swissreg le 01.02.2023

  5. 2 oct. 2019

    Délivré

    Publié dans Swissreg le 02.10.2019

Parties

Titulaire

ASML Netherlands B.V.

P.O. Box 324, 5500 AH Veldhoven, NL

Inventeur

KARADE, Yogesh

NL-5611 GJ Eindhoven, NL

DZIOMKINA, Nina

NL-5658 BN Eindhoven, NL

TEN KATE, Nicolaas

NL-4286 EC Almkerk, NL

RODENBURG, Elisabeth

NL-5591EW Heeze, NL

LAFARRE, Raymond

NL-5607 JS Helmond, NL

DONDERS, Sjoerd

NL-5261 CA Vught, NL

Le registre désigne chaque partie par son nom et son adresse. Un titulaire ou un mandataire est lié à une organisation lorsqu’une seule entité du registre du commerce porte son nom ; la rue d’une partie non reconnue ainsi n’est pas affichée ici.