attocube Systems AG
80331 München
Patente
AKTIVER BIMODALER AFM-BETRIEB ZUR MESSUNGEN OPTISCHER INTERAKTION
EP3722817
GEKÜHLTER TISCH
EP3224556
OPTISCHER TISCH
EP3209954
HAFT-GLEIT-ANTRIEB, INSBESONDERE PIEZO-AKTUIERTER TRÄGHEITSANTRIEB
EP3205011
INTERFEROMETRISCHER WEGSENSOR ZUR INTEGRATION IN WERKZEUGMASCHINEN UND HALBLEITER-LITHOGRAFIESYSTEMEN
EP3137847
Elektromechanischer Aktuator
EP3035519
Doppellaserinterferometer
EP2806246
Vorrichtung zur Positionserfassung mit konfokalem Fabry-Perot Interferometer
EP2363685
Vorrichtung zur Positionserfassung
EP2045572
ELEKTROMECHANISCHER AKTUATOR
EP3410596
Weitere Marken (5)
Inhaberin von 15 Patenten, 9 in Kraft.
Aus Swissreg, dem Register des Eidgenössischen Instituts für Geistiges Eigentum: Schweizer Patente und europäische Patente mit Wirkung in der Schweiz. Ein Patent steht hier, wenn der Name seiner Inhaberin der Name dieser Rechtseinheit ist.