TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE
71254 Ditzingen
Patente
JUSTIERBARE OPTISCHE ANORDNUNG
EP4168841
MESSSYSTEM ZUR VERWENDUNG MIT EINEM LICHTVERSTÄRKUNGSHOHLRAUM
EP3997518
EUV-LICHTQUELLE MIT EINER STRAHLLAGESTELLEINRICHTUNG
EP4424114
FOKUSSIEREINRICHTUNG MIT EINER PARALLEL ODER DECKUNGSGLEICH ZU EINER TARGETEBENE VERLAUFENDEN BILDEBENE
EP4125165
EUV-ERREGUNGSLICHTQUELLE UND EUV-LICHTQUELLE
EP4338556
EUV-LICHTQUELLE MIT EINER SEPARATIONSEINRICHTUNG
EP4331326
VARIABLE STRAHLMODULATION
EP4281823
OPTISCHE BAUGRUPPE, INSBESONDERE ZUR POLARISATION EINES LASERSTRAHLS, UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG DAMIT
EP3850412
STRAHLFALLE, STRAHLFÜHRUNGSEINRICHTUNG, EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABSORBIEREN EINES STRAHLS
EP3265268
Inhaberin von 9 Patenten, 2 in Kraft.
Aus Swissreg, dem Register des Eidgenössischen Instituts für Geistiges Eigentum: Schweizer Patente und europäische Patente mit Wirkung in der Schweiz. Ein Patent steht hier, wenn der Name seiner Inhaberin der Name dieser Rechtseinheit ist.