Elektronenstrahlenempfindlicher Resist

Europäisches Patent · EP0088977 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP0088977
Anmeldenummer
EP83102212
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
07.03.1983
Veröffentlicht
21.09.1983
Erteilt
01.06.1988
Gelöscht
31.03.1990
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
G03F 7/10 (1985.01)
Priorität
US A 357381 12.03.1982
US A 381287 24.05.1982
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 24.10.2024

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 24.10.2024

  2. 15.07.1988

    Erteilt

    Veröffentlicht im PMMBl Nr. 13 des Jahres 1988

Beteiligte

Erfinderin/Erfinder

Lorenz, Donald H.

Basking Ridge, NJ 07920, US

Williams, Earl P.

Pen Argyl, PA 18072, US

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.