Appareil et procédé de pulvérisation à magnétron
Europäisches Patent · EP0328257 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP0328257
- Anmeldenummer
- EP89300521
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- In geändertem Umfang aufrechterhalten
- Angemeldet
- 19.01.1989
- Veröffentlicht
- 16.08.1989
- Erteilt
- 02.04.1997
- Gelöscht
- 18.01.2009
- Grund
- Höchstdauer erreicht
- IPC-Klassen
- C23C 14/56 (2006.01)C23C 14/34 (2006.01)H01J 37/34 (2006.01)C23C 14/58 (2006.01)
- Priorität
- US 154177 08.02.1988
- Anmeldesprache
- Englisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 26.01.2009
Höchstdauer erreicht
Veröffentlicht in Swissreg am 26.01.2009
- 13.08.2004
Änderung
Veröffentlicht im +pat+ Nr. 15 des Jahres 2004
- 30.06.1997
Vertretung eingetragen
- Vertreter/in
- Bovard AG, Patentanwälte, Optingenstrasse 16, 3000 Bern 25
Veröffentlicht im PMMBl Nr. 12 des Jahres 1997
- 15.04.1997
Erteilt
Veröffentlicht im PMMBl Nr. 7 des Jahres 1997
Beteiligte
Erfinderin/Erfinder
Santa Rosa California 95407, US
Santa Rosa California 95404, US
Santa Rosa California 95404, US
Santa Rosa California 95404, US
Santa Rosa California 95401, US
Boulder Colorado 80301, US
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