Appareil et procédé de pulvérisation à magnétron

Europäisches Patent · EP0328257 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP0328257
Anmeldenummer
EP89300521
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
In geändertem Umfang aufrechterhalten
Angemeldet
19.01.1989
Veröffentlicht
16.08.1989
Erteilt
02.04.1997
Gelöscht
18.01.2009
Grund
Höchstdauer erreicht
IPC-Klassen
C23C 14/56 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)
H01J 37/34 (2006.01)
C23C 14/58 (2006.01)
Priorität
US 154177 08.02.1988
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 26.01.2009

    Höchstdauer erreicht

    Veröffentlicht in Swissreg am 26.01.2009

  2. 13.08.2004

    Änderung

    Veröffentlicht im +pat+ Nr. 15 des Jahres 2004

  3. 30.06.1997

    Vertretung eingetragen

    Vertreter/in
    Bovard AG, Patentanwälte, Optingenstrasse 16, 3000 Bern 25

    Veröffentlicht im PMMBl Nr. 12 des Jahres 1997

  4. 15.04.1997

    Erteilt

    Veröffentlicht im PMMBl Nr. 7 des Jahres 1997

Beteiligte

Erfinderin/Erfinder

Scobey, Michael A.

Santa Rosa California 95407, US

Seddon, Richard Ian

Santa Rosa California 95404, US

Seeser, James W.

Santa Rosa California 95404, US

Austin, Russel R.

Santa Rosa California 95404, US

LeFabvre, Paul M.

Santa Rosa California 95401, US

Manley, Barry W.

Boulder Colorado 80301, US

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