Ventilation d'une installation de traitement sous vide

Europäisches Patent · EP0346018 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP0346018
Anmeldenummer
EP89305588
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
02.06.1989
Veröffentlicht
13.12.1989
Erteilt
05.10.1994
Gelöscht
30.06.1997
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/00 (2006.01)
C23C 16/52 (2006.01)
Priorität
US A 203009 06.06.1988
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 13.02.1998

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht im PMMBl Nr. 3 des Jahres 1998

  2. 15.11.1994

    Erteilt

    Veröffentlicht im PMMBl Nr. 21 des Jahres 1994

Beteiligte

Inhaberin

Varian Associates, Inc.

611 Hansen Way, Palo Alto/CA, US

Vertretung

Bovard AG

Optingenstrasse 16, 3000 Bern 25

Erfinderin/Erfinder

Milgate, Robert W., III

Gloucester MA 01930, US

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.