Lithographisches Verfahren
Europäisches Patent · EP0556014 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP0556014
- Anmeldenummer
- EP93300921
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 09.02.1993
- Veröffentlicht
- 18.08.1993
- Erteilt
- 21.10.1998
- Gelöscht
- 21.10.1998
- Grund
- Keine Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- IPC-Klassen
- G03F 7/32 (2006.01)
- Priorität
- JP 57526/92 10.02.1992JP 233081/92 07.08.1992JP 233083/92 07.08.1992
- Anmeldesprache
- Englisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 30.04.1999
Änderung
Veröffentlicht im PMMBl Nr. 8 des Jahres 1999
- 30.10.1998
Erteilt
Veröffentlicht im PMMBl Nr. 20 des Jahres 1998
Beteiligte
Inhaberin
Erfinderin/Erfinder
Ohmi, Tadahiro
Sendai-shi, Miyagi-ken, JP
Shimada, Hisayuki, c/o Department of Electronics
Aramaki, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi-ken, JP
Shimomura, Shigeki, c/o Department of Elctronics
Aramaki, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi-ken, JP
Suzuki, Akiyoshi, c/o Canon Kabushiki Kaisha
Ohta-ku, Tokyo, JP
Miyawaki, Mamoru, c/o Canon Kabushiki Kaisha
Ohta-ku, Tokyo, JP
Noguchi, Miyoko, c/o Canon Kabushiki Kaisha
Ohta-ku, Tokyo, JP
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