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Europäisches Patent · EP1376669 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP1376669
Anmeldenummer
EP02708711
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
28.03.2002
Veröffentlicht
02.01.2004
Erteilt
09.05.2007
Gelöscht
31.03.2013
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/31 (2006.01)
H05H 1/46 (2006.01)
H01L 21/3065 (2006.01)
H01J 37/32 (2006.01)
Priorität
JP 2001094271 28.03.2001
PCT-Anmeldung
PCT/JP2002/003109 28.03.2002
PCT-Veröffentlichung
WO2002/080250 10.10.2002
Anmeldesprache
Japanisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 23.10.2013

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 23.10.2013

  2. 31.05.2011

    Adresse geändert

    Vertreter/in
    Novagraaf International SA, 25, avenue du Pailly, 1220 Les Avanchets → Novagraaf International SA, Chemin de l'Echo 3, 1213 Onex

    Veröffentlicht in Swissreg am 31.05.2011

  3. 31.08.2007

    Vertretung eingetragen

    Vertreter/in
    Novagraaf International SA, 25, avenue du Pailly, 1220 Les Avanchets

    Veröffentlicht im +pat+ Nr. 16 des Jahres 2007

  4. 31.05.2007

    Erteilt

    Veröffentlicht im +pat+ Nr. 10 des Jahres 2007

Beteiligte

Inhaberin

OHMI, Tadahiro

1-17-301, Komegabukuro 2-chome, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi-ken 980-0813, JP

Tokyo Electron Limited

TOKYO ELECTRON LIMITED

3-6 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481, JP

Vertretung

Novagraaf International SA

Chemin de l'Echo 3, 1213 Onex

Erfinderin/Erfinder

OHMI, Tadahiro

Sendai-Shi, Miyagi 980-0813, JP

HIRAYAMA, Masaki, c/o New Ind. Creation Hatch.Cent

Sendai-Shi, Miyagi 980-8579, JP

SUGAWA, Shigetoshi, c/o Manag. of Science & Techn.

Aramaki, Aoba-ku Sendai-Shi, Miyagi 980-, JP

GOTO, Tetsuya, c/o NEW IND. CR. HATCHERY CTER

Sendai-Shi, Miyagi 980-8579, JP

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.