WAFERBOOT MIT BOGENFÖRMIGEN WAFERSTÜTZARMEN

Europäisches Patent · EP1405018 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP1405018
Anmeldenummer
EP02749694
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
27.06.2002
Veröffentlicht
07.04.2004
Erteilt
18.05.2011
Gelöscht
30.06.2011
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/00 (2006.01)
C30B 25/12 (2006.01)
C30B 31/14 (2006.01)
Priorität
US 904143 12.07.2001
PCT-Anmeldung
PCT/US2002/020556 27.06.2002
PCT-Veröffentlichung
WO2003/007336 23.01.2003
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 18.01.2012

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 18.01.2012

  2. 18.05.2011

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 18.05.2011

Beteiligte

Erfinderin/Erfinder

BUCKLEY, Richard, F.

Shrewsbury, MA 01545, US

VAYDA, John

West Brookfield, MA 01585, US

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.