SUBSTRATVERARBEITUNGSVORRICHTUNG
Europäisches Patent · EP1535313 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP1535313
- Anmeldenummer
- EP03765906
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 22.07.2003
- Veröffentlicht
- 01.06.2005
- Erteilt
- 31.10.2018
- Gelöscht
- 31.07.2019
- Grund
- Jahresgebühr nicht bezahlt
- IPC-Klassen
- H01L 21/67 (2006.01)H01L 21/677 (2006.01)
- Priorität
- US 397895 P 22.07.2002
- PCT-Anmeldung
- PCT/US2003/022881 22.07.2003
- PCT-Veröffentlichung
- WO2004/010476 29.01.2004
- Anmeldesprache
- Englisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 19.02.2020
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 19.02.2020
- 31.10.2018
Erteilt
Veröffentlicht in Swissreg am 31.10.2018
Beteiligte
Erfinderin/Erfinder
CAVENEY, Robert, T.
Windham, NH 03087, US
HOFMEISTER, Christopher, A.
Hampstead, NH 03841, US
WEISS, Mitchell
Carlisle, MA 01741-1605, US
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