Vakuumsystem

Europäisches Patent · EP1536454 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP1536454
Anmeldenummer
EP04027862
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
24.11.2004
Veröffentlicht
01.06.2005
Erteilt
25.07.2012
Gelöscht
30.11.2014
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
C23C 14/56 (2006.01)
H01L 21/677 (2006.01)
H01L 21/67 (2006.01)
Priorität
DE 10355678 28.11.2003
Anmeldesprache
Deutsch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 17.06.2015

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 17.06.2015

  2. 26.09.2012

    Vertretung eingetragen

    Vertreter/in
    Vossius & Partner, Nadelberg 3, 4051 Basel

    Veröffentlicht in Swissreg am 26.09.2012

  3. 25.07.2012

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 25.07.2012

Beteiligte

Inhaberin

Singulus Technologies AG

Hanauer Landstrasse 103, 63796 Kahl/Main, DE

Vertretung

Vossius & Partner

Nadelberg 3, 4051 Basel

Erfinderin/Erfinder

Kempf, Stefan

63755 Alzenau, DE

Merz, Thomas

63739 Aschaffenburg, DE

Mücke, Michael, Dr.

61206 Wöllstadt, DE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.