SUBSTRATVERARBEITUNGSSYSTEM

Europäisches Patent · EP1630858 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP1630858
Anmeldenummer
EP04717277
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
04.03.2004
Veröffentlicht
01.03.2006
Erteilt
15.02.2012
Gelöscht
31.03.2012
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/00 (2006.01)
H01L 21/02 (2006.01)
Priorität
JP 2003057202 04.03.2003
PCT-Anmeldung
PCT/JP2004/002705 04.03.2004
PCT-Veröffentlichung
WO2004/079808 16.09.2004
Anmeldesprache
Japanisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 17.10.2012

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 17.10.2012

  2. 15.02.2012

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 15.02.2012

Beteiligte

Inhaberin

Tokyo Electron Limited

TOKYO ELECTRON LIMITED

3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku Tokyo 107-6325, JP

OHMI, Tadahiro

Ohmi, Tadahiro

301, 1-17, Komegafukuro 2-chome, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi 980-0813, JP

Erfinderin/Erfinder

OHMI, Tadahiro

Sendai-shi, Miyagi 980-0813, JP

TERAMOTO, Akinobu

Sendai-shi, Miyagi 980-0037, JP

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.