SOURCE A PLASMA DE RAYONS DIRIGES ET APPLICATION A LA MICROLITHOGRAPHIE
Europäisches Patent · EP1673785 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP1673785
- Anmeldenummer
- EP04817228
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 18.10.2004
- Veröffentlicht
- 28.06.2006
- Erteilt
- 16.05.2007
- Gelöscht
- 31.10.2011
- Grund
- Jahresgebühr nicht bezahlt
- IPC-Klassen
- G21K 1/06 (2006.01)H05G 2/00 (2006.01)
- Priorität
- FR 0312202 17.10.2003
- PCT-Anmeldung
- PCT/FR2004/002656 18.10.2004
- PCT-Veröffentlichung
- WO2005/038822 28.04.2005
- Anmeldesprache
- Französisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 23.05.2012
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 23.05.2012
- 31.03.2008
Übertragen
- Inhaber/in
- EPPRA, 16, avenue du Québec,, Parc d'Affaires Silic de Villebon Courtaboeuf, 91140 Villebon sur Yvette, Frankreich → NANO-UV, 16, avenue deu Quebec, 91140 VILLEBON SUR YVETTE, Frankreich
Veröffentlicht im +pat+ Nr. 6 des Jahres 2008
- 31.03.2008
Vertretung eingetragen
- Vertreter/in
- Dr. Joachim Lauer, Patentanwalt, Stapferstrasse 5,, Postfach 2651, 8033 Zürich
Veröffentlicht im +pat+ Nr. 6 des Jahres 2008
- 29.06.2007
Vertretung eingetragen
- Vertreter/in
- MICHELI & CIE SA, 122, Rue de Genève, Case postale 61, 1226 Thônex
Veröffentlicht im +pat+ Nr. 12 des Jahres 2007
- 15.06.2007
Erteilt
Veröffentlicht im +pat+ Nr. 11 des Jahres 2007
Beteiligte
Erfinderin/Erfinder
F-91400 Orsay, FR
Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.