ENTFLUORISIERUNGSPROZESS

Europäisches Patent · EP2074648 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP2074648
Anmeldenummer
EP07843846
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
04.10.2007
Veröffentlicht
01.07.2009
Erteilt
04.01.2012
Gelöscht
31.10.2012
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/027 (2006.01)
H01L 21/033 (2006.01)
H01L 21/3105 (2006.01)
H01L 21/311 (2006.01)
H01L 21/312 (2006.01)
H01L 21/3213 (2006.01)
H01L 21/768 (2006.01)
Priorität
US 545903 10.10.2006
PCT-Anmeldung
PCT/US2007/080455 04.10.2007
PCT-Veröffentlichung
WO2008/045764 17.04.2008
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 22.05.2013

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 22.05.2013

  2. 04.01.2012

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 04.01.2012

Beteiligte

Erfinderin/Erfinder

HEO, Dongho

Fremont, California 94538, US

KIM, Jisoo

Pleasanton, California 94588, US

SADJADI, S.M. Reza

Saratoga, California 95070, US

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