Interferometrische Analyse von Oberflächen

Europäisches Patent · EP2275868 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP2275868
Anmeldenummer
EP10177299
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
15.09.2004
Veröffentlicht
19.01.2011
Erteilt
28.02.2018
Gelöscht
30.09.2018
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
G03F 7/20 (2006.01)
G01B 9/02 (2006.01)
G01B 11/00 (2006.01)
Priorität
US 502932 P 15.09.2003
US 502933 P 15.09.2003
US 502907 P 15.09.2003
US 502930 P 15.09.2003
US 539437 P 26.01.2004
Abgezweigt von
EP04788766
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 17.04.2019

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 17.04.2019

  2. 28.02.2018

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 28.02.2018

Beteiligte

Inhaberin

ZYGO CORPORATION

Zygo Corporation

21 Laurel Brook Road, Middlefield, CT 06455-0448, US

Erfinderin/Erfinder

De Groot, Peter J.

Middletown, CT 06457, US

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