EINGESPANNTE DUSCHKOPFELEKTRODE

Europäisches Patent · EP2301308 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP2301308
Anmeldenummer
EP09794803
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
06.07.2009
Veröffentlicht
30.03.2011
Erteilt
03.09.2014
Gelöscht
31.07.2015
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H05H 1/34 (2006.01)
H05H 1/38 (2006.01)
H01L 21/3065 (2006.01)
C23C 16/455 (2006.01)
H01J 37/32 (2006.01)
Priorität
US 216524 07.07.2008
PCT-Anmeldung
PCT/US2009/003952 06.07.2009
PCT-Veröffentlichung
WO2010/005540 14.01.2010
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 24.02.2016

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 24.02.2016

  2. 03.09.2014

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 03.09.2014

Beteiligte

Inhaberin

Lam Research Corporation

4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538-6470, US

Erfinderin/Erfinder

PATRICK, Roger

Mountain View CA 94040, US

BETTENCOURT, Gregory, R.

Fremont CA 94538, US

KELLOGG, Michael, C.

Pleasanton CA 94588, US

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.