PHASENVERSCHIEBUNGSINTERFEROMETRIE BEI VIBRATION

Europäisches Patent · EP2359089 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer: EP2359089
Anmeldenummer: EP09826618
Art: Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status: Gelöscht
Patentschrift: Erteilt
Angemeldet: 10.11.2009
Veröffentlicht: 24.08.2011
Erteilt: 24.08.2016
Gelöscht: 30.11.2016
Grund: Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen: G01B 9/02 (2006.01)
G01B 11/24 (2006.01)
G01B 11/02 (2006.01)
G02B 27/14 (2006.01)
G02B 26/08 (2006.01)
Priorität: US 113759 P 12.11.2008
US 273831 19.11.2008
US 273840 19.11.2008
PCT-Anmeldung: PCT/US2009/063853 10.11.2009
PCT-Veröffentlichung: WO2010/056658 20.05.2010
Anmeldesprache: Englisch
Quelle: Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

21.06.2017
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 21.06.2017
24.08.2016
Erteilt
Veröffentlicht in Swissreg am 24.08.2016

Beteiligte

Inhaberin

ZYGO CORPORATION

Zygo Corporation

21 Laurel Brook Road, Middlefield, CT 06455-0448, US

Erfinderin/Erfinder

DECK, Leslie L.

Middletown, Connecticut 06455, US

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