KATALYSATOR-CVD-VORRICHTUNG
Europäisches Patent · EP2374915 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP2374915
- Anmeldenummer
- EP08878723
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 09.12.2008
- Veröffentlicht
- 12.10.2011
- Erteilt
- 22.01.2014
- Gelöscht
- 31.12.2014
- Grund
- Jahresgebühr nicht bezahlt
- IPC-Klassen
- C23C 16/44 (2006.01)H01L 21/205 (2006.01)
- PCT-Anmeldung
- PCT/JP2008/072353 09.12.2008
- PCT-Veröffentlichung
- WO2010/067424 17.06.2010
- Anmeldesprache
- Japanisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 22.07.2015
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 22.07.2015
- 22.01.2014
Erteilt
Veröffentlicht in Swissreg am 22.01.2014
Beteiligte
Erfinderin/Erfinder
OSONO, Shuji
Sammu-shi Chiba 289-1226, JP
HASHIMOTO, Masanori
Sammu-shi Chiba 289-1226, JP
ASARI, Shin
Sammu-shi Chiba 289-1226, JP
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