RF-PLASMA-GLÜHENTLADUNGS-SPUTTERN

Europäisches Patent · EP2422352 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP2422352
Anmeldenummer
EP10719043
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
20.04.2010
Veröffentlicht
29.02.2012
Erteilt
06.01.2016
Gelöscht
30.04.2020
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01J 37/32 (2006.01)
H01J 37/34 (2006.01)
Priorität
GB 0906935 23.04.2009
PCT-Anmeldung
PCT/GB2010/050641 20.04.2010
PCT-Veröffentlichung
WO2010/122331 28.10.2010
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 18.11.2020

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 18.11.2020

  2. 06.01.2016

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 06.01.2016

Beteiligte

Erfinderin/Erfinder

EHIASARIAN, Arutiun

Sheffield South Yorkshire S1 1WB, GB

HOVSEPIAN, Papken

Sheffield South Yorkshire S1 1WB, GB

YUKIMURA, Ken

Moriyama-City Shiga 524-0022, JP

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.