STRAHLLINIE FÜR EINE EUV-STRAHLUNGSQUELLE

Europäisches Patent · EP2550564 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP2550564
Anmeldenummer
EP11714925
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
16.03.2011
Veröffentlicht
30.01.2013
Erteilt
04.03.2015
Gelöscht
31.03.2017
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
G03F 7/20 (2006.01)
Priorität
EP 10009339 08.09.2010
EP 10003197 25.03.2010
PCT-Anmeldung
PCT/EP2011/001303 16.03.2011
PCT-Veröffentlichung
WO2011/116897 29.09.2011
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 18.10.2017

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 18.10.2017

  2. 26.09.2017

    Adresse geändert

    Vertreter/in
    Rentsch Partner AG, Fraumünsterstrasse 9, Postfach 2441, 8022 Zürich → RENTSCH PARTNER AG, Bellerivestrasse 203, Postfach, 8034 Zürich

    Veröffentlicht in Swissreg am 26.09.2017

  3. 10.04.2015

    Vertretung eingetragen

    Vertreter/in
    Rentsch Partner AG, Fraumünsterstrasse 9, Postfach 2441, 8022 Zürich

    Veröffentlicht in Swissreg am 10.04.2015

  4. 04.03.2015

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 04.03.2015

Beteiligte

Inhaberin

ETH Zurich

8092 Zurich

Vertretung

RENTSCH PARTNER AG

Bellerivestrasse 203 Postfach, 8034 Zürich

Erfinderin/Erfinder

ABHARI Reza

CH-8127 Forch/ZH

GIOVANNINI Andrea

CH-6900 Lugano/TI

DIETERICH, Franz

CH-8957 Zurich/ZH

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.