INTERFEROMETRISCHE ENCODER-SYSTEME

Europäisches Patent · EP2553401 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer: EP2553401
Anmeldenummer: EP11766307
Art: Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status: Gelöscht
Patentschrift: Erteilt
Angemeldet: 16.02.2011
Veröffentlicht: 06.02.2013
Erteilt: 02.09.2015
Gelöscht: 29.02.2016
Grund: Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen: G01D 5/38 (2006.01)
G01D 5/26 (2006.01)
G02B 6/00 (2006.01)
H01L 21/027 (2006.01)
Priorität: US 422482 P 13.12.2010
US 327983 P 26.04.2010
US 319252 P 30.03.2010
PCT-Anmeldung: PCT/US2011/025039 16.02.2011
PCT-Veröffentlichung: WO2011/126610 13.10.2011
Anmeldesprache: Englisch
Quelle: Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

21.09.2016
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 21.09.2016
02.09.2015
Erteilt
Veröffentlicht in Swissreg am 02.09.2015

Beteiligte

Inhaberin

ZYGO CORPORATION

Zygo Corporation

21 Laurel Brook Road P.O. Box 448, Middlefield, CT 06455-0448, US

Erfinderin/Erfinder

DECK, Leslie, L.

Middletown, Connecticut 06457, US

DE GROOT, Peter, J.

Middletown, Connecticut 06457, US

SCHROEDER, Michael

East Hampton, Connecticut 06424, US

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.