Ätzen von Blockcopolymeren

Europäisches Patent · EP2717296 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP2717296
Anmeldenummer
EP12187058
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
02.10.2012
Veröffentlicht
09.04.2014
Erteilt
31.08.2016
Gelöscht
31.10.2016
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/033 (2006.01)
H01L 21/311 (2006.01)
B81C 1/00 (2006.01)
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 24.05.2017

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 24.05.2017

  2. 31.08.2016

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 31.08.2016

Beteiligte

Inhaberin

IMEC

Kapeldreef 75, 3001 Leuven, BE

Erfinderin/Erfinder

Chan, Boon Teik

3001 Leuven, BE

Tahara, Shigeru

3001 Leuven, BE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.