INTERFEROMETRISCHES KODIERSYSTEM MIT DOPPELTEM DURCHGANG

Europäisches Patent · EP2776792 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP2776792
Anmeldenummer
EP12847106
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
08.11.2012
Veröffentlicht
17.09.2014
Erteilt
10.08.2016
Gelöscht
30.11.2016
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
G01D 5/26 (2006.01)
G01D 5/353 (2006.01)
G01D 5/36 (2006.01)
G01D 5/38 (2006.01)
H01L 21/68 (2006.01)
G03F 7/20 (2006.01)
Priorität
US 201161557755 P 09.11.2011
PCT-Anmeldung
PCT/US2012/064086 08.11.2012
PCT-Veröffentlichung
WO2013/070871 16.05.2013
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 21.06.2017

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 21.06.2017

  2. 10.08.2016

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 10.08.2016

Beteiligte

Erfinderin/Erfinder

DE GROOT, Peter

Middletown, Connecticut 06457, US

LIESENER, Jan

Middletown, Connecticut 06457, US

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