Zylinderförmige Verdampfungsquelle

Europäisches Patent · EP2778253 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP2778253
Anmeldenummer
EP13195135
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
29.11.2013
Veröffentlicht
17.09.2014
Erteilt
24.10.2018
Schutz endet spätestens
28.11.2033
Nächste Jahresgebühr fällig
30.11.2026
IPC-Klassen
C23C 14/32 (2006.01)
C23C 14/35 (2006.01)
H01J 37/34 (2006.01)
H01J 37/32 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)
Priorität
EP 13156790 26.02.2013
Anmeldesprache
Deutsch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 01.12.2025

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.12.2025

  2. 01.12.2024

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.12.2024

  3. 01.12.2023

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.12.2023

  4. 02.12.2022

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 02.12.2022

  5. 24.10.2018

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 24.10.2018

Beteiligte

Inhaberin

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon

Churerstrasse 120, 8808 Pfäffikon SZ

Erfinderin/Erfinder

Esser, Stefan

50072 Aachen, DE

Vetter, Jörg

51469 Bergisch Gladbach, DE

Müller, Jürgen

57462 Olpe, DE

Erkens, Georg

52070 Aachen, DE

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