PROCÉDÉ MICROÉLECTRONIQUE DE GRAVURE D'UNE COUCHE

Europäisches Patent · EP2939262 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP2939262
Anmeldenummer
EP13815511
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
20.12.2013
Veröffentlicht
04.11.2015
Erteilt
09.01.2019
Gelöscht
31.12.2019
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/306 (2006.01)
H01L 21/311 (2006.01)
H01L 21/3213 (2006.01)
Priorität
FR 1262958 28.12.2012
PCT-Anmeldung
PCT/EP2013/077853 20.12.2013
PCT-Veröffentlichung
WO2014/102222 03.07.2014
Anmeldesprache
Französisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 22.07.2020

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 22.07.2020

  2. 09.01.2019

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 09.01.2019

Beteiligte

Inhaberin

Université Joseph Fourier

621 Avenue Centrale, Domaine Universitaire de St Martin d'Hères, 38041 Grenoble Cédex 9, FR

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Bâtiment le Ponant D 25 rue Leblanc, 75015 Paris, FR

Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.)

3, rue Michel-Ange, 75016 Paris, FR

Erfinderin/Erfinder

POSSEME, Nicolas

F-38000 Grenoble, FR

VALLIER, Laurent

F-38240 Meylan, FR

JOUBERT, Olivier

F-38240 Meylan, FR

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.