Frequenzeinstellung eines RF-Generators in einem Plasmaverfahren

Europäisches Patent · EP3029711 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3029711
Anmeldenummer
EP14196158
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
03.12.2014
Veröffentlicht
08.06.2016
Erteilt
16.10.2019
Schutz endet spätestens
02.12.2034
Nächste Jahresgebühr fällig
31.12.2026
IPC-Klassen
H01J 37/32 (2006.01)
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 01.01.2026

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.01.2026

  2. 01.01.2025

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.01.2025

  3. 09.01.2024

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 09.01.2024

  4. 04.01.2023

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 04.01.2023

  5. 25.01.2020

    Vertretung eingetragen

    Vertreter/in
    Isler & Pedrazzini AG, Postfach 1772, 8027 Zürich

    Veröffentlicht in Swissreg am 25.01.2020

  6. 16.10.2019

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 16.10.2019

Beteiligte

Erfinderin/Erfinder

Schlierf, Roland

50823 Köln, DE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.