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Europäisches Patent · EP3086359 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3086359
Anmeldenummer
EP16166355
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
21.04.2016
Veröffentlicht
26.10.2016
Erteilt
11.09.2019
Gelöscht
30.04.2020
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/311 (2006.01)
Priorität
JP 2015087900 22.04.2015
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 18.11.2020

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 18.11.2020

  2. 11.09.2019

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 11.09.2019

Beteiligte

Inhaberin

Tokyo Electron Limited

TOKYO ELECTRON LIMITED

3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku Tokyo 107-6325, JP

Erfinderin/Erfinder

Igarashi, Yoshiki

Miyagi, 981-3629, JP

Tominaga, Sho

Miyagi, 981-3629, JP

Takayama, Wataru

Miyagi, 981-3629, JP

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.