FOKUSMESSUNGEN MIT SCATTEROMETRIE

Europäisches Patent · EP3126893 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3126893
Anmeldenummer
EP15774184
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
30.03.2015
Veröffentlicht
08.02.2017
Erteilt
03.09.2025
Gelöscht
23.10.2026
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
G02B 15/14 (2006.01)
H04N 7/18 (2006.01)
G03F 7/20 (2006.01)
G03F 7/00 (2006.01)
Priorität
US 201461973151 P 31.03.2014
PCT-Anmeldung
PCT/US2015/023405 30.03.2015
PCT-Veröffentlichung
WO2015/153497 08.10.2015
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 23.10.2026

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Schutztitelstatus
    Aktiv → Gelöscht
    Löschdatum
    23.10.2026
    Löschgrund
    Nichtzahlung Jahresgebühr

    Veröffentlicht in Swissreg am 23.10.2026

  2. 15.07.2026

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 15.07.2026

  3. 03.09.2025

    Erteilt

    Schriftstatus
    Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
    Schutztitelstatus
    Initiiert → Aktiv

    Veröffentlicht in Swissreg am 03.09.2025

Beteiligte

Inhaberin

Kla-Tencor Corporation

Milpitas, California 95035, US

Erfinderin/Erfinder

EL KODADI, Mohammed

F-38400 Saint Martin D'heres, FR

AMIR, Nuriel

2068101 St. Yokne'am, IL

VOLKOVICH, Roie

3824969 Hadera, IL

LEVINSKI, Vladimir

23100 Migdal Haemek, IL

FELER, Yoel

32163 Haifa, IL

KANDEL, Daniel

76858 Aseret, IL

GUTMAN, Nadav

3091784 Zichron Ya'aqov, IL

PANDEV, Stilian

Santa Clara, California 95050, US

SANKO, Dzmitry

Vallejo, California 94590, US

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.