ZYKLISCHES PLASMAÄTZEN

Europäisches Patent · EP3139403 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3139403
Anmeldenummer
EP16187143
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
02.09.2016
Veröffentlicht
08.03.2017
Erteilt
18.12.2019
Gelöscht
30.09.2020
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/3065 (2006.01)
H01J 37/32 (2006.01)
Priorität
GB 201515622 03.09.2015
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 21.04.2021

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 21.04.2021

  2. 18.12.2019

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 18.12.2019

Beteiligte

Inhaberin

Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited

Tubney Woods Abingdon, Oxon OX13 5QX, GB

Erfinderin/Erfinder

COOKE, Michael J.

Oxon, OX13 5QX, GB

GOODYEAR, Andrew L.

Oxon, OX13 5QX, GB

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.