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Europäisches Patent · EP3178109 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3178109
Anmeldenummer
EP16753705
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
02.08.2016
Veröffentlicht
14.06.2017
Erteilt
01.12.2021
Gelöscht
23.03.2023
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/687 (2006.01)
C23C 16/458 (2006.01)
H01L 21/673 (2006.01)
Priorität
DE 102015113956 24.08.2015
PCT-Anmeldung
PCT/IB2016/054630 02.08.2016
PCT-Veröffentlichung
WO2017/033076 02.03.2017
Anmeldesprache
Deutsch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 23.03.2023

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 23.03.2023

  2. 12.10.2022

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 12.10.2022

  3. 01.12.2021

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.12.2021

Beteiligte

Inhaberin

Meyer Burger (Germany) GmbH

An der Baumschule 6-8, 09337 Hohenstein-Ernstthal, DE

Erfinderin/Erfinder

KEHR, Mirko

09439 Amtsberg, DE

RASCHKE, Sebastian

09380 Thalheim, DE

ANSORGE, Erik

09127 Chemnitz, DE

BÖHM, Christian

09337 Hohenstein-Ernstthal, DE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.