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Europäisches Patent · EP3264451 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP3264451
- Anmeldenummer
- EP16755181
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 05.02.2016
- Veröffentlicht
- 03.01.2018
- Erteilt
- 29.09.2021
- Gelöscht
- 13.10.2022
- Grund
- Jahresgebühr nicht bezahlt
- IPC-Klassen
- H01L 21/677 (2006.01)H01L 21/02 (2006.01)H01L 21/67 (2006.01)
- Priorität
- JP 2015038389 27.02.2015
- PCT-Anmeldung
- PCT/JP2016/053554 05.02.2016
- PCT-Veröffentlichung
- WO2016/136432 01.09.2016
- Anmeldesprache
- Japanisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 13.10.2022
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 13.10.2022
- 10.08.2022
Änderung
Veröffentlicht in Swissreg am 10.08.2022
- 29.09.2021
Erteilt
Veröffentlicht in Swissreg am 29.09.2021
Beteiligte
Erfinderin/Erfinder
SHIGETA, Takashi
Tokyo 105-8564, JP
KOMIYA, Munekazu
Tokyo 105-8564, JP
TANIYAMA, Yasushi
Tokyo 105-8564, JP
KAWAI, Toshihiro
Tokyo 105-8564, JP
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