SUBSTRATBEHANDLUNGSVORRICHTUNG
Europäisches Patent · EP3341961 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP3341961
- Anmeldenummer
- EP16753706
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 02.08.2016
- Veröffentlicht
- 04.07.2018
- Erteilt
- 14.07.2021
- Gelöscht
- 23.02.2022
- Grund
- Jahresgebühr nicht bezahlt
- IPC-Klassen
- H01L 21/687 (2006.01)C23C 16/458 (2006.01)C23C 16/46 (2006.01)H01L 21/67 (2006.01)C23C 14/50 (2006.01)C23C 14/54 (2006.01)C23C 14/56 (2006.01)C23C 16/54 (2006.01)
- Priorität
- DE 102015113962 24.08.2015
- PCT-Anmeldung
- PCT/IB2016/054632 02.08.2016
- PCT-Veröffentlichung
- WO2017/033077 02.03.2017
- Anmeldesprache
- Deutsch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 25.05.2022
Änderung
Veröffentlicht in Swissreg am 25.05.2022
- 24.03.2022
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 24.03.2022
- 14.07.2021
Erteilt
Veröffentlicht in Swissreg am 14.07.2021
Beteiligte
Erfinderin/Erfinder
KEHR, Mirko
09439 Amtsberg, DE
RASCHKE, Sebastian
09380 Thalheim, DE
BÖHM, Christian
09337 Hohenstein-Ernstthal, DE
ANSORGE, Erik
09127 Chemnitz, DE
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