AUTOMATISIERTE SUBSTRATHALTERLADEVORRICHTUNG

Europäisches Patent · EP3376530 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3376530
Anmeldenummer
EP17161434
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
16.03.2017
Veröffentlicht
19.09.2018
Erteilt
14.08.2019
Schutz endet spätestens
15.03.2037
Nächste Jahresgebühr fällig
31.03.2027
IPC-Klassen
H01L 21/677 (2006.01)
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 01.04.2026

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.04.2026

  2. 01.04.2025

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.04.2025

  3. 01.04.2024

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.04.2024

  4. 01.04.2023

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.04.2023

  5. 21.09.2019

    Vertretung eingetragen

    Vertreter/in
    Dennemeyer AG, Bahnhofstrasse 23, 6300 Zug

    Veröffentlicht in Swissreg am 21.09.2019

  6. 14.08.2019

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 14.08.2019

Beteiligte

Inhaberin

Atotech Deutschland GmbH

Erasmusstraße 20, 10553 Berlin, DE

Vertretung

Dennemeyer AG

Bahnhofstrasse 23, 6300 Zug

Erfinderin/Erfinder

PRETSCHER, Rüdiger

10553 Berlin, DE

BUCHBERGER, Daniel

10553 Berlin, DE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.