WAFERTRÄGER UND VERFAHREN
Europäisches Patent · EP3385980 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP3385980
- Anmeldenummer
- EP18164949
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 29.03.2018
- Veröffentlicht
- 10.10.2018
- Erteilt
- 24.11.2021
- Gelöscht
- 25.10.2022
- Grund
- Jahresgebühr nicht bezahlt
- IPC-Klassen
- H01L 23/544 (2006.01)H01L 21/67 (2006.01)H01L 21/683 (2006.01)H01L 21/687 (2006.01)H01L 21/68 (2006.01)
- Priorität
- US 201715477313 03.04.2017
- Anmeldesprache
- Englisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 25.10.2022
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 25.10.2022
- 05.10.2022
Änderung
Veröffentlicht in Swissreg am 05.10.2022
- 24.11.2021
Erteilt
Veröffentlicht in Swissreg am 24.11.2021
Beteiligte
Erfinderin/Erfinder
WAN, Jianwei
Woodbury, 55129, US
CHOI, Chankyung
Chandler 85249-1220, US
KIM, Peter Wook
Stillwater, 55082, US
TUNGARE, Mihir
Gilbert AZ 85298, US
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